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  • 专利说明
  • 权利要求
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  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:
    DieErfindung betrifft ein Lasermeßsystemzur Messung eines Fluid-Bestandteils in einem Beobachtungsraum (13),mit mindestens einer zur Erzeugung eines Laserstrahls bestimmtenLaserlichtquelle (19), die auf einer Seite des Beobachtungsraums(13) befestigt ist, und mit mindestens einem Photosensor (20), derder Laserlichtquelle (19) gegenüberliegendauf der anderen Seite des Beobachtungsraums (13) befestigt ist.Aufgabeder Erfindung ist es, die Zuverlässigkeiteines Lasermeßsystemzu erhöhen.Insbesondere sollen Formänderungender Vorrichtungen zur Befestigung der optischen Komponenten am Beobachtungsraumausgeglichen werden, die meist auf thermischen Änderungen und Schwankungenberuhen. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein motorisch verstellbaresStrahlablenkungs-Mittel (22) gelöst, über dasder Laserstrahl der Laserlichtquelle (19) in den Beobachtungsraum(13) geleitet wird, wobei zumindest ein Teil des Lichtes des Laserstrahlsauf einen positionsempfindlichen Lichtsensor (25) geleitet wird,dessen Signal zur Verstellung des Strahlablenkungs-Mittels (22) verwendetwird.
    公开号:DE102004018529A1
    申请号:DE200410018529
    申请日:2004-04-14
    公开日:2005-11-03
    发明作者:
    申请人:Enotec Prozess und Umwelt GmbH；Enotec Prozess- und Umweltmesstechnik GmbH；
    IPC主号:G01J3-42
    专利说明:
    [0001] DieErfindung betrifft ein Lasermeßsystem zurMessung eines Fluid-Bestandteilsin einem Beobachtungsraum, mit mindestens einer zur Erzeugung einesLaserstrahls bestimmten Laserlichtquelle, die auf einer Seite desBeobachtungsraums befestigt ist, und mit mindestens einem Photosensor,der der Laserlichtquelle gegenüberliegendauf der anderen Seite des Beobachtungsraums befestigt ist. Insbesonderebetrifft sie ein System zur Durchführung einer Laser-Absorptionsspektroskopiein Rauchgaskanälen oderFeuerräumenzur Ermittlung bestimmter Bestandteile, wie z.B. der Sauerstoffkonzentrationin Rauchgasen.
    [0002] Beider Laser-Absorptionsspektroskopie wird ein Laserstrahl durch daszu messende Medium geleitet. Dieser Laserstrahl wird von der Laserlichtquelleerzeugt und muß denPhotosensor mit einer Flächevon ca. 1 cm2 treffen.
    [0003] Umdiesen Photosensor auf eine fürRauchgaskanäleoder Feuerräumetypische Distanz von 1 bis 30 m zu treffen, bedarf es einer genauenAusrichtung von Laser und Photosensor zueinander. Bei 1 m ergeben1° Winkelabweichungbereits 1,74 cm Abweichung am Ort des Photosensors. Bei 10 m sind diesdann bereits 17,4 cm.
    [0004] Aufgrundder Konstruktion von Rauchgaskanälenbzw. Feuerräumenwurde beobachtet, daß diesesich durch Temperaturunterschiede und -schwankungen verziehen bzw.verwinden. Diese Verwindungen bzw. dieses Verziehen kann zu einerFehlausrichtung zwischen Laser und Photosensor des Lasermeßsystemsführen,die ab einer bestimmten Größe nichtmehr durch rein optische Maßnahmenausgeglichen werden kann. Es ist damit zu rechnen, daß bei Rauchgaskanälen bzw.Feuerräumenein Verziehen des Kanals von bis zu zehn Zentimetern und eine Verwindungvon bis zu einem halben Grad eintreten kann.
    [0005] Aufgabeder Erfindung ist es, die Zuverlässigkeiteines Lasermeßsystemszu erhöhen.Insbesondere sollen Formänderungender Vorrichtungen zur Befestigung der optischen Komponenten am Beobachtungsraumausgeglichen werden, die meist auf thermischen Änderungen und Schwankungenberuhen.
    [0006] DieseAufgabe wird erfindungsgemäß dadurchgelöst,daß einmotorisch verstellbares Strahlablenkungs-Mittel vorgesehen ist, über dasder Laserstrahl der Laserlichtquelle in den Beobachtungsraum geleitetwird, wobei zumindest ein Teil des Lichtes des Laserstrahls aufeinen positionsempfindlichen Lichtsensor geleitet wird, dessen Signalzur Verstellung des Strahlablenkungs-Mittels verwendet wird.
    [0007] DasStrahlablenkungs-Mittel kann das Licht des Laserstrahls durch Brechungoder Reflexion ablenken. Vorzugsweise wird der Laserstrahl über einenmotorisch unabhängigum zwei Achsen verschwenkbaren Spiegel geleitet, welcher das Strahlablenkungs-Mittelbildet. Dieser Spiegel läßt sichpräziseund nahezu spielfrei überzwei Präzisionsmotorenum einen maximalen Winkel von 1° umbeide Achsen verschwenken. Die Auflösung, d.h. die Genauigkeitder Positionseinstellung des Spiegels, beträgt hierbei vorzugsweise 1/100°, also etwaeine halbe Winkelminute.
    [0008] Aufder Empfängerseitewird der Laserstrahl auf den positionsempfindlichen Lichtsensor,z.B. eine sogenannte Vierquadrantendiode, geleitet. Diese lichtempfindlicheDiode hat vier aktive Quadranten, so daß eindeutig die Position desLaserstrahls in bezug auf ihren Mittelpunkt festgestellt werdenkann. Die Signale der einzelnen Quadranten werden verstärkt undan einen Mikroprozessor weitergeleitet. Mittels der nun gewonnenenInformation überdie Position des Laserstrahls kann der Mikroprozessor einen Korrekturwert für die Betätigung derVerstellmotoren errechnen, so daß der Laserstrahl über den motorischbewegbaren Spiegel am Sender (Laserlichtquelle) nachgeführt werdenkann.
    [0009] Somitist durch die motorische Strahlnachführung gewährleistet, daß der Laserstrahlempfängerseitigjederzeit mittig auf den Photosensor, der das Meßsignal erzeugt, ausgerichtetist. Verlagerungen des Auftreffpunktes des Strahls gegebenenfalls über denRand des Photosensors hinaus werden zuverlässig vermieden.
    [0010] Ineiner praktischen Ausführungsformwird der Laserstrahl übereinen Strahlteiler in zwei Strahlgänge aufgeteilt. Ein Strahlgangtrifft auf den Photosensor fürdie Erzeugung des Absorptionssignals, der andere trifft auf dieVierquadrantendiode. Der Strahlteiler ist üblicherweise ein halbdurchlässiger Reflektorwie beispielsweise ein halbdurchlässiger Spiegel oder ein halbdurchlässiges Prisma.
    [0011] Wieeingangs erwähnt,wird das erfindungsgemäße Lasermeßsystemin einer praktischen Ausführungsformzur Durchführungeiner Laser-Absorptionsspektroskopieeingesetzt. Durch dieses Verfahren wird die Absorption des Laserlichtes über die Meßstreckeermittelt. Aus der gemessenen Lichtintensität, welche umgekehrt proportionalzum Maß der Absorptionist, läßt sichdie Menge oder Konzentration bestimmter Bestandteile, zum Beispielder Sauerstoffgehalt in Rauchgasen, in dem Beobachtungsraum ermitteln.Gegebenenfalls werden Messungen mit Laserlicht unterschiedlicherWellenlängedurchgeführt.
    [0012] Einebeispielhafte Ausführungsformder Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungenbeschrieben. Die Zeichnungen zeigen in:
    [0013] 1 einenLängsschnittdurch ein Gehäuse einererfindungsgemäßen optischenMeßvorrichtung;
    [0014] 2 einevergrößerte Ansichtdes vorderen Endes des Gehäusesaus 1 im Längsschnitt;
    [0015] 3 einePrinzipskizze eines transparenten Fensters in dem Gehäuse ausden 1 und 2;
    [0016] 4 einePrinzipskizze fürdie Funktion der Ausrichtung des Laserstrahls des Lasermeßsystems ausden vorangehenden Figuren;
    [0017] 5 eineDraufsicht auf eine Vierquadrantendiode für die Strahlausrichtung.
    [0018] Die 1 zeigtein Gehäuse,das bei einem erfindungsgemäßen optischenMeßsystem,insbesondere Lasermeßsystem,zum Einsatz kommt. Es besteht aus der optischen Komponente bzw.dem optischen Gerät 1,das entweder eine Laserlichtquelle oder eine Photodiode ist. Inder optischen Achse 18 der optischen Komponente 1,d.h. bei dem vorliegenden Meßsystemin dem Laserstrahl 18, sind zwei Sichtfenster 2,3 austransparentem Material angeordnet. Zwischen den beiden Sichtfenstern 2,3 befindetsich ein rohrförmigerKörper 4,dessen Innenraum 5 zur Überprüfung derFunktion des Meßsystemsmit einem Prüfgasbefülltwerden kann. Zu diesem Zweck weist der Innenraum 5 desrohrförmigenKörpers 4 desGehäusesnahe dem Sichtfenster 3 am freien Ende des rohrförmigen Körpers 4 einenPrüfgaskanal 6 auf,der in den Innenraum 5 mündet. Am gegenüberliegendenEnde des Innenraums 5 des rohrförmigen Körpers 4 ist ein Entlüftungskanal 7 vorgesehen,durch den Gas aus dem Innenraum 5 des rohrförmigen Körpers 4 austretenkann. Der Innenraum 5 des rohrförmigen Körpers 4 des Gehäuses kannsomit in Gleichströmunggemäß den eingezeichnetenPfeilen mit einem Gas gespültwerden.
    [0019] Für den üblichenMeßbetriebwird ein neutrales Spülgasin den Innenraum 5 des rohrförmigen Körpers 4 geleitet.Beispielsweise eignet sich Stickstoff als neutrales Spülgas während desMeßbetriebs,wenn das Meßsystemfür die Sauerstoffmessungvorgesehen ist. Zu diesem Zweck kann der Prüfgaskanal 6 mit derSpülgasquelle,welche Stickstoff enthält,verbunden werden. Das Spülgaskann zur Kühlungumgewälztwerden, das heißtin einer stetigen Strömungden Innenraum 5 durchströmen und außerhalb des Innenraums 5 durcheinen Wärmetauscher(nicht dargestellt) geleitet werden.
    [0020] Zur Überprüfung derFunktion des Meßsystemskann der Prüfgaskanal 6 miteiner Prüfgasquelleverbunden werden, z.B. einer Druckgasflasche, die ein Gas mit definierterSauerstoffkonzentration enthält,oder einer Pumpe, welche Luft mit 20,95% Sauerstoff in den Innenraum 5 desrohrförmigenKörpers 4 fördert. Durchdas Spülendes Innenraums 5 mit dem Prüfgas wird eine definierte Länge zwischen denbeiden Sichtfenstern 2 und 3 des Gehäuses mit einemGas befüllt,welches eine bekannte Konzentration des zu messenden Bestandteilsenthält.
    [0021] Wieerwähnt,enthältdas erfindungsgemäße Meßsystemzwei optische Komponenten, nämlich eineLaserlichtquelle 19 und einen Photosensor 20 (siehez.B. 3 und 4). Wie 1 zeigt,könnenbeide optischen Komponenten 1 in jeweils einem erfindungsgemäßen Gehäuse aufgenommenwerden. Zur Durchführungunterschiedlicher Prüfmessungenkönnenin einem ersten Fall nur eins der beiden Gehäuse und in einem zweiten Fallbeide Gehäusemit dem Prüfgasgespültwerden.
    [0022] Dasin 1 dargestellte Gehäuse weist ferner einen Spülgaskanal 8 auf,der zu einem Austrittskanal 9 führt. Der Austrittskanal 9 mündet hinterdem Sichtfenster 3 in dem zum Beobachtungsraum 13 offenenTeil des Gehäuses.Das vordere Ende des rohrförmigenKörpers 4 desGehäusesist im Detail in 2 dargestellt. Der Austrittskanal 9 für das Spülgas oderKühlgasmündetin einer Ringnut 10, dier nach innen durch einen Einschraubring 11 für das Sichtfenster 3 verschlossenist. Die zum Sichtfenster 3 gerichtete Stirnfläche desEinschraubrings 11 drücktein Paar Dichtringe 26 zusammen, welche zu beiden Seitendes Randes des Sichtfensters 3 angeordnet sind und denInnenraum 5 des rohrförmigen Körpers 4 gegenden Beobachtungsraum 13, der vor der Stirnseite des rohrförmigen Körpers 4 liegt,abdichtet. Der Beobachtungsraum 13 kann ein Rauchgaskanaloder ein Feuerraum einer Verbrennungsanlage beliebiger Art sein.Er kann aber auch von einer Prozeßgasleitung, einem Gasbehälter beliebigerArt sowie einem sonstigen fluidbefüllten Raum oder offenen Volumengebildet sein. Das Fluid kann gasförmige, flüssige und feste Bestandteileaufweisen. Es kann aus einem Rauchgas, atmosphärischer Luft oder einer vergleichbarenGaszusammensetzung bestehen.
    [0023] DieInnenwandung des Einschraubrings 11 ist mit einer Hülse 14 ausporösemMaterial versehen. Die poröseHülse 14 bestehtaus gasdurchlässigemMaterial, vorzugsweise Sintermetall, Keramik oder Kunststoff. Indem Einschraub-ring 11 sind mehrere radiale Kanäle 12 vorgesehen,welche an der Außenseiteder porösenHülse 14 münden. Somit kanndas Spülgasaus dem Spülgaskanal 8 durch denAustrittskanal 9 in die Ringnut 10 strömen, und ausder Ringnut 10 durch die mehreren, über den Umfang des Einschraubrings 11 verteiltenradialen Kanäle 12 zurAußenseiteder porösenHülse 14 gelangen.Das Spülgasdurchströmtdie poröseHülse 14 undtritt durch eine Vielzahl von kleinen Öffnungen in der Innenfläche derHülse 14 aus.Die Innenfläche derporösenHülse 14 bildetden hinteren Abschnitt eines Ausströmrohrs 16 am vorderenEnde des rohrförmigenKörpers 4.Der vordere Abschnitt des Auströmrohrs 16 wirddurch eine weitere poröseHülse 15 gebildet,die an der Innenseite eines Mündungsrings 17 angeordnetist.
    [0024] DasporöseMaterial überden größten Teil derLänge desAusströmrohrs 16 hatzwei Funktionen. Zum einen bewirkt die poröse Hülse 14 im hinterenAbschnitt des Ausströmrohrs 16,daß dasSpülgasin diffuser Strömungdurch eine Vielzahl von Öffnungenim wesentlichen radial in das Ausströmrohr 16 hineinströmt. Zumanderen bewirkt die rauhe Oberflächeder porösenHülse 15 imvorderen Teil des Ausströmrohrs 16,daß dieStrömungsgeschwindigkeitreduziert wird und eine langsame und gleichgerichtete Ausströmung ausder Mündungdes Ausströmrohrs 16 hinausin den Beobachtungsraum 13 erfolgt. Durch dieses porös ausgekleideteAusströmrohr 16 wirdeine Rückströmung vonFluid aus dem Beobachtungsraum 13 in das Ausströmrohr 16 hinein undzum Sichtfenster 3 hin wirkungsvoll vermieden. Ein geringesAusströmvolumendes Spülgasesbei einem geringem Überdruckgegenüberdem Beobachtungsraum 13 füllt das Ausströmrohr 16 vollständig aus.
    [0025] DieGesamtlängedes Ausströmrohrs 16 entsprichtetwa dem Doppelten des Durchmessers des Ausströmrohrs 16. Eine derartigeSpülungdes Sichtfensters kann an beiden Gehäusen des Lasermeßsystems,d.h. sowohl dem Gehäusefür dieLaserlichtquelle 19 als auch dem Gehäuse für den Photosensor 20,vorgesehen sein.
    [0026] Inder 1 und der 3 ist zuerkennen, daß diebeiden Fenster 2 und 3 zur optischen Achse, entlangder der Laserstrahl 18 verläuft, geneigt sind. Hierdurchwird vermieden, daß Reflexionenvon der Oberflächedes transparenten Materials der Fenster 2,3 wiederentlang der optischen Achse zurückin die Laserlichtquelle 19 strahlen bzw. auf der Empfängerseitezurückin den Photosensor 20 strahlen. Auch wird vermieden, daß zwischenden Fenstern 2 und 3 Reflexionen hin- und hergeworfenwerden, die zu einer Resonanz führenkönnen.
    [0027] Fernerweist, wie in 3 erkennbar, jedes der Fenster 2,3 eineKeilform auf. Das heißt,daß die beidenOberflächendes Fensters 2,3 zueinander geneigt verlaufen.Die Neigung der beiden Oberflächen desFensters 2,3 zueinander ist in 3 übertrieben dargestellt.Der Keilwinkel β zwischenden Fensteroberflächenbeträgtin der Praxis etwa 1/30 eines Winkelgrads oder zwei Winkelminuten.Durch diese Schrägstellungwerden wiederholte Reflexionen innerhalb des Fensters zwischen seinenOberflächen undinsbesondere der Etaloneffekt vermieden. Derartige keilförmige Fenster 2,3 können ineinem in 1 erkennbaren Gehäuse sowohlauf der Seite der Laserlichtquelle 19 als auch auf derSeite der Photodiode 20 (siehe 3 und 4)angeordnet sein. Vorzugsweise sind alle Fenster zwischen der Laserlichtquelle 19 undder Photodiode 20 gemäß der Darstellungin 3 ausgebildet.
    [0028] Die 4 zeigteine Prinzipskizze der zwei optischen Komponenten des erfindungsgemäßen Meßsystems.Auf der einen Seite der Meßstreckeist eine Laserlichtquelle 19 angeordnet. Auf der anderen Seiteder Meßstreckeist ein Photosensor 20 angeordnet. Die Meßstreckeselbst zwischen der Laserlichtquelle 19 und dem Photosensor 20 weistin der Praxis z.B. eine Längevon 1 m bis zu 30 m auf. Im Falle eines Rauchgaskanals können sichdabei erhebliche mechanische Verformungen und Verwindungen ergeben,welche das exakte Auftreffen des Laserstrahls 18 auf derPhotodiode 20 beeinflussen können. Aus diesem Grund ermöglicht diein 4 dargestellte Ausführung des Lasermeßsystemseine Nachführungdes Laserstrahls 18.
    [0029] DerLaser 21 selbst leitet seinen Laserstrahl 18 aufein Strahlablenkungs-Mittel,nämlicheinen Spiegel 22, der überVerstellmotoren 23 um zwei Achsen schwenkbar ist. Der Schwenkwegdes Spiegels 22 um jede der beiden Achsen sollte mindestens 1° betragen.Die Genauigkeit der Winkeleinstellung des Spiegels 22 solltein der Größenordnungvon 1/100°,also etwa einer halben Winkelminute liegen. Auf der gegenüberliegendenSeite der Meßstrecke istein Strahlteiler 24 angeordnet, der einen Teil des Laserstrahls 18 aufden Photosensor 20 reflektiert und einen anderen Teil desLaserstrahls 18 zu einem positionsempfindlichen Lichtsensor 25 durchläßt. Der Strahlteiler 24 kannentweder durch einen halbdurchlässigenSpiegel oder durch ein halbdurchlässiges Prisma gebildet werden.Dabei muß dieStrahlaufteilung nicht exakt im Verhältnis 50 : 50 erfolgen. Es kannein sehr viel größerer Anteildes Laserstrahls 18 fürMeßzweckeauf den Photosensor 20 geleitet werden.
    [0030] Derauf den positionsempfindlichen Lichtsensor 25 geleiteteAnteil kann kleiner sein.
    [0031] Grundsätzlich istjeder positionsempfindliche Lichtsensor, wie beispielsweise eineFlächendiode, verwendbar.Vorzugsweise wird eine Vierquadrantendiode 25 verwendet,welche separate Lichtmeßwertefür vierQuadranten ihrer Oberflächeabgibt. Der prinzipielle Aufbau einer Vierquadrantendiode ist in 5 dargestellt.Sie weist vier separate Photodiodenflächen auf, die in den vier QuadrantenQ1, Q2, Q3 und Q4 der Oberflächeder Vierquadrantendiode angeordnet sind. Wenn der Laserstrahl 18,wie in 5 dargestellt, genau auf den Mittelpunkt der Vierquadrantendiode 25 zwischenden vier Quadranten Q1-Q4 trifft, trifft auf alle Quadranten diegleiche Lichtmenge und die Meßwerteder vier Quadranten Q1-Q4 stimmen überein. Ein Auswandern desLaserstrahls 18 aus der Mitte der Vierquadrantendiode führt dazu,daß derMeßwertin einem oder zwei der vier Quadranten steigt und in den anderenQuadranten abnimmt.
    [0032] Durchdas Meßsignalder Vierquadrantendiode kann der Verstellmotor 23 (4)derart angesteuert werden, daß erden Laserstrahl 18 genau auf die Mitte der Vierquadrantendiode 25 richtet.Auf diese Weise ist sichergestellt, daß der Laserstrahl 18 zu jederZeit unabhängigvom Zustand der Verformung oder Verwindung der Strukturen, an denendas erfindungsgemäße Lasermeßsysteminstalliert ist, vollständigauf den Photosensor 20 geleitet wird und einen zuverlässigen undreproduzierbaren Meßwerterzeugt.
    [0033] Daserfindungsgemäße Meßsystemkann auch mehrere Laserlichtquellen und Photosensoren umfassen,die zum Beispiel jeweils mit verschiedenen Wellenlängen arbeiten.Auch könnenweitere optische Komponenten im Bedarfsfall im Strahlengang desLaserstrahls angeordnet werden.
    1 optischesGerät,optische Komponente 2 Sichtfenster 3 Sichtfenster 4 rohrförmiger Körper 5 Innenraum 6 Prüfgaskanal 7 Entlüftungskanal 8 Spülgaskanal 9 Austrittskanal 10 Ringnut 11 Einschraubring 12 radialerKanal 13 Beobachtungsraum 14 poröse Hülse 15 poröse Hülse 16 Ausströmrohr 17 Mündungsring 18 optischeAchse, Laserstrahl 19 Laserlichtquelle 20 Photosensor 21 Laser 22 Strahlablenkungs-Mittel,Spiegel 23 Verstellmotor 24 Strahlteiler 25 positionsempfindlicherLichtsensor, Vierquadrantendiode 26 Dichtring Q1–Q4 Quadrant β Keilwinkel
    权利要求:
    Claims (8)
    [1] Lasermeßsystemzur Messung eines Fluid-Bestandteils in einem Beobachtungsraum (13),mit mindestens einer zur Erzeugung eines Laserstrahls bestimmtenLaserlichtquelle (19), die auf einer Seite des Beobachtungsraums(13) befestigt ist, und mit mindestens einem Photosensor(20), der der Laserlichtquelle (19) gegenüberliegendauf der anderen Seite des Beobachtungsraums (13) befestigtist, gekennzeichnet durch ein motorisch verstellbares Strahlablenkungs-Mittel(22), überdas der Laserstrahl der Laserlichtquelle (19) in den Beobachtungsraum(13) geleitet wird, wobei zumindest ein Teil des Lichtesdes Laserstrahls auf einen positionsempfindlichen Lichtsensor (25)geleitet wird, dessen Signal zur Verstellung des Strahlablenkungs-Mittels(22) verwendet wird.
    [2] Lasermeßsystemnach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Beobachtungsraum (13) einRauchgaskanal, ein Feuerraum einer Verbrennungsanlage, eine Prozeßgasleitung,ein Gasbehälteroder ein sonstiges fluidbefülltesVolumen ist.
    [3] Lasermeßsystemnach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Strahlablenkungs-Mittelein Spiegel (22) ist.
    [4] Lasermeßsystemnach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,daß derpositionsempfindliche Lichtsensor eine Vierquadrantendiode (25)ist.
    [5] Lasermeßsystemnach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen halbdurchlässigen Reflektor(24), der einen Teil des Lichtstrahls auf den Photosensor(20) und einen Teil des Lichtstrahls auf den positionsempfindlichen Lichtsensor(25) leitet.
    [6] Lasermeßsystemnach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,daß es eineAuswerteeinheit umfaßt,die die Meßsignaledes Photosensors (20) zur Durchführung einer Laser-Absorptionsspektroskopieauswertet.
    [7] Lasermeßsystemnach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,daß dasStrahlablenkungs-Mittel (22) motorisch um zwei Achsen schwenkbarist.
    [8] Lasermeßsystemnach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,daß dasStrahlablenkungs-Mittel (22) um einen Winkel von mindestenseinem Grad verschwenkbar ist.
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    DE102004018529B4|2007-01-18|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2005-11-03| OM8| Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law|
    2006-01-26| 8110| Request for examination paragraph 44|
    2006-10-26| 8181| Inventor (new situation)|Inventor name: PRESCHA, RALF, 53229 BONN, DE Inventor name: GUMPRECHT, FRED, 51709 MARIENHEIDE, DE |
    2007-07-12| 8364| No opposition during term of opposition|
    2017-11-03| R119| Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    DE200410018529|DE102004018529B4|2004-04-14|2004-04-14|Lasermeßsystem|DE200410018529| DE102004018529B4|2004-04-14|2004-04-14|Lasermeßsystem|
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